Synertia® – mehr als eine Produktinnovation.

Wichtige Schritte bei der Herstellung von Halbleitern, wie das Abscheiden, Modifizieren und Strukturieren von verschiedensten Materialien auf Wafern, werden mit Hilfe von Plasma durchgeführt. Comet Hochfrequenztechnologie liefert die Energie, die für die Steuerung dieser Plasmaprozesse benötigt wird (siehe auch Video "Wie Mikrochips hergestellt werden"). Auf Produktebene hat Comet bisher die dafür notwendigen Matchboxen und Vakuumkondensatoren entwickelt und produziert. Im Juli 2022 hat sie nun nach fünf Jahren Entwicklungsarbeit unter “Synertia®» ihre erste komplette Hochfrequenzplattform zur Echtzeitsteuerung von Plasmaprozessen lanciert.

Die Synertia®-Plattform: ein vernetztes HF-Ökosystem

“Um in Zukunft erfolgreich zu sein, reicht es nicht aus, einen guten HF-Generator, eine gute Matchbox oder gute Vakuumkondensatoren anzubieten”, sagt André Grede, Vice President Global R&D bei Comet Plasma Control Technologies. “Technologie- und Marktführer für diese Produkte zu sein ist natürlich weiterhin unser erstes Ziel. Eine überragende Performance des gesamten HF-Systems lässt sich allerdings nur erreichen, wenn diese einzelnen Produkte nicht nur optimal aufeinander abgestimmt sind, sondern auch in Echtzeit untereinander kommunizieren."

Der Name “Synertia®" kommt von “Synergie”, denn bei der neuen Synertia-Plattform handelt es sich um ein ganzes Ökosystem an HF-Produkten, die zusammen als System mehr bieten als die Summe der einzelnen Produkte. Dieses modulare Produktportfolio wird in den nächsten Jahren stetig wachsen. So sollen unter anderem bereits dieses Jahr die ersten Synertia-Matchboxes lanciert werden.

Zugang zu Experten überall, zu jeder Zeit

Comets Synertia-Plattform ermöglicht Echtzeiteinblicke in Plasmaprozesse auf einer ganz neuen Ebene. Kritische Probleme und Herausforderungen lassen sich so schneller lösen, bei den Herstellern von Halbleitertools als auch bei Endkunden in der Chipproduktion. So sparen sie nicht nur Zeit und Geld, sondern können neue Produkte schneller zur Marktreife bringen. “Bei Forschung und Entwicklung in unserem Bereich geht es nicht nur um das Produkt. Es geht vor allem darum, die Kunden bei ihren Innovationen und der Lösung ihrer Probleme zu unterstützen – und das alles auf einem ständig wachsenden Komplexitätsniveau”, stellt André Grede fest. “Darum ist das Team hinter der Produktentwicklung und die damit verbundene Unterstützung für unsere Kunden besonders wichtig."

Comet hat in den letzten Jahren ein globales, multidisziplinäres Team von Spezialisten in vielen Technologiebereichen aufgebaut. Die verschiedenen Standorte überall auf der Welt ermöglichen es uns, unsere Kunden rund um die Uhr und wenn nötig vor Ort zu unterstützen. “Damit liefern wir nicht nur ein innovatives Produkt, sondern gleichzeitig auch effiziente Unterstützung in allen Phasen der Zusammenarbeit mit unseren Kunden”, so André Grede weiter.

Leistungsfähige, vernetzte RF smartLABs in der ganzen Welt

Um innovative Hightech-Produkte zu entwickeln, braucht es neben dem richtigen Team auch die richtige Arbeitsumgebung mit leistungsstarker Infrastruktur. In Flamatt wurde Anfang 2018 das erste Comet Plasma Control Technologies smartLAB eröffnet. Später kamen ein smartLAB in Aachen dazu, ein weiteres wird gerade in San Jose als Teil des neuen Gebäudes aufgebaut. “PCTs voll digitalisierte Synertia^(R) Produktplattform verarbeitet intern Datenströme von bis zu 30 Gbit/s. Die bei Tests kompletter Systeme anfallenden Datenmengen sind eine Herausforderung für Speicherung, Organisation und Verarbeitung. Lokale smartLABs erlauben es, diese grossen, während der Entwicklung anfallenden, Datenmengen dort zu analysieren, wo sie aufgezeichnet werden”, sagt Nikolai, Schwerg, Director Global Digitalization Plasma Control Technologies. “Virtuell vernetzt handelt es sich allerdings um ein einziges, globales smartLAB. Damit bringen wir auch die internationale Zusammenarbeit im globalen R&D-Team auf das nächste Level." In der digitalisierten Laborumgebung können Testläufe automatisiert durchgeführt, grosse Datenmengen analysiert und neue Funktionen schneller qualifiziert werden. Das erlaubt die Weiterentwicklung und Anpassung von Produkten an Kundenwünsche in kürzester Zeit.

Für mehr Effizienz und Nachhaltigkeit in der Halbleiterproduktion

Energie ist eine knappe Ressource und die Herstellung von Wafern sehr energieintensiv. Darum ist Effizienz ein sehr wichtiges Thema, wenn es um Produktinnovationen im Bereich Plasma Control Technologies geht. Energie, die bei der Transformation in Hochfrequenz-Energie nicht umgewandelt wird, tritt normalerweise als Wärme aus. Die Energie ist verschwendet und die Wärme braucht wiederum Kühlung. “Die Synertia®-Plattform braucht weniger Kühlung und weniger Platz in den Reinräumen der Fabriken als andere HF-Subsysteme. Beides trägt zu mehr Effizienz und Nachhaltigkeit bei”, so André Grede.

“Wenn es um unseren Synertia®-Generator geht, sprechen unsere Kunden von einem richtig innovativen Generator."